近年來,隨著我國真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,各類真空獲得設(shè)備發(fā)展十分迅速。為滿足各行業(yè)客戶對產(chǎn)品集成化、智能化、便捷性的應(yīng)用需求。昱馳真空不斷創(chuàng)新，進(jìn)行產(chǎn)品技術(shù)的革新，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、真空玻璃、鋰電、光伏、面板等多種高端制造中。

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。半導(dǎo)體的各種生產(chǎn)工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，因此對真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。

昱馳真空在研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化工程研究及實(shí)施方面具有豐富經(jīng)驗(yàn)，憑借在真空領(lǐng)域多年深入耕耘，補(bǔ)強(qiáng)了國產(chǎn)真空零部件領(lǐng)域的研發(fā)生產(chǎn)空白。并加強(qiáng)行業(yè)領(lǐng)域的產(chǎn)學(xué)研合作聯(lián)盟，與國內(nèi)科研院所開展技術(shù)合作的豐富經(jīng)驗(yàn)。分子泵具有廣泛應(yīng)用場景在半導(dǎo)體工業(yè)的推動下，分子泵在光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備市場拓展加速。

憑借深厚的技術(shù)儲備，公司團(tuán)隊(duì)在2005年研制出首臺整體轉(zhuǎn)子復(fù)合分子泵，2010年研制出FFD可任意角度安裝復(fù)合分子泵，2012年參與國家重大儀器專項(xiàng)“開發(fā)大抽速磁懸浮分子泵”，2013年研制出國際首臺MDP抗大氣沖擊復(fù)合分子泵，2016年研制出國內(nèi)首臺400口徑磁懸浮分子泵，2018年推出國內(nèi)首臺400口徑任意角度安裝復(fù)合分子泵，2020—2021年首臺產(chǎn)業(yè)化磁懸浮分子泵工程樣機(jī)應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，2022—2023年，批量推出性能對標(biāo)國外磁懸浮分子泵的系列化產(chǎn)品。

昱馳真空主要產(chǎn)品為磁懸浮分子泵和機(jī)械軸承分子泵，公司團(tuán)隊(duì)專注于分子泵領(lǐng)域已有二十余年，曾承擔(dān)國家科技部重大儀器儀表專項(xiàng)，并持續(xù)以產(chǎn)學(xué)研融合為牽引，創(chuàng)新研制具有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高真空大抽速磁懸浮復(fù)合分子泵，實(shí)現(xiàn)了磁懸浮超高真空分子泵產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，推動我國半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域高端分子泵國產(chǎn)替代。2025年4月，昱馳真空與合肥綜合性國家科學(xué)中心能源研究院合作成立涉氚大抽速分子泵研發(fā)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，公司從開始投入核級分子泵的研發(fā)，為未來的核聚變商用化事業(yè)貢獻(xiàn)力。

目前已經(jīng)引入大唐電信（600198.SH）、華潤微（688396.SH）、長江創(chuàng)新（000783.SZ）、龍芯中科（688047.SH）、國投創(chuàng)業(yè)、季華璀璨投資、飛圖創(chuàng)投等產(chǎn)業(yè)投資人的戰(zhàn)略投資并正式進(jìn)軍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

在龐大的市場需求驅(qū)動下,行業(yè)已然迎來了前所未有的發(fā)展機(jī)遇,同時也在不斷催化市場競爭的加劇。昱馳真空，助力高端真空設(shè)備國產(chǎn)化。